PTFE cijevi za proizvodnju poluvodiča

Proizvodnja poluprovodnika ima malu toleranciju za nekontrolisane materijale. Cev koja se koristi u mokroj klupi, liniji za isporuku hemikalija ili sistemu tečnosti visoke čistoće nije samo način da se tečnost pomeri od A do B. Sama cijev mora ostati stabilna kada je izložena agresivnim hemikalijama, povišenim ili niskim temperaturama, ponovljenom čišćenju i zahtevnim zahtevima za čistoćom.

Za WITFLON, poluprovodničke cijevi su unutar šireg kapaciteta proizvodnje fluoropolimera. Kompanija trenutno identificira poluvodiče među svojim područjima primjene i isporučuje proizvode od PTFE, FEP i PFA cijevi. Njegove objavljene proizvodne informacije uključuju 45+ proizvodne linije za ekstruziju, 10,000+ m² proizvodnih objekata, 2.000 m² čistog prostora i namjensku opremu za testiranje. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

1. Zahtjevi za poluprovodnički proces

Linija za proizvodnju poluprovodnika može izložiti komponente za rukovanje tekućinom:

Jake kiseline

Jake alkalije

Organski rastvarači

Oksidirajuće hemikalije

Ultračista voda

Hemikalije za fotootpor

Sredstva za čišćenje

Korozivni gasovi

Procesne hemikalije visoke čistoće

Stoga cijevi moraju istovremeno zadovoljiti nekoliko zahtjeva:

Hemijska kompatibilnost

Cijev mora održati svoju fizičku i kemijsku stabilnost kada je kontinuirano izložena procesnom mediju.

Čistoća

Cijevi ne bi trebale postati značajan izvor čestica, ekstrahiranih ili neželjene kontaminacije.

Otpornost na temperaturu

Neki procesi uključuju povišene temperature, dok drugi sistemi rade u uslovima niskih ili kontrolisanih temperatura.

Dimenzijska stabilnost

ID i OD moraju ostati dovoljno stabilni za veze, kontrolu protoka i integraciju opreme.

Kvalitet površine

Glatka unutrašnja površina pomaže u smanjenju mjesta na kojima se mogu akumulirati ostaci procesa ili zagađivači.

Clean Manufacturing

Za aplikacije visoke čistoće, uslovi proizvodnje i pakovanja postaju dio specifikacije materijala.

Zbog toga bi kupac poluprovodnika trebao specificirati tekućinu + koncentraciju + temperaturu + tlak + zahtjeve čistoće, umjesto da jednostavno traži "cijev otpornu na kemikalije".

2. Hemijska kompatibilnost

PTFE je široko odabran za primjenu prijenosa hemikalija u poluvodičima zbog svoje široke kemijske otpornosti.

WITFLON opisuje PTFE kao otporan na jake kiseline, jake alkalije, rastvarače i korozivne medije, a njegova stranica posebno navodi prijenos reagensa visoke čistoće u poluvodičkoj i farmaceutskoj industriji kao primjenu za PTFE kapilarne cijevi. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

Tipične poluprovodničke hemikalije mogu uključivati:

Međutim, "PTFE je hemijski otporan" ne treba tumačiti jer je svaka PTFE cijev pogodna za svaku kemikaliju u svim uvjetima.

Za stvarni poluprovodnički proces, WITFLON bi trebao procijeniti:

Hemikalija → Koncentracija → Temperatura → Pritisak → Vrijeme izlaganja → Kvalitet cijevi → Potreban vijek trajanja

Te informacije daju inženjerskom timu mnogo korisniju osnovu za odabir materijala.

3. Zahtjevi visoke čistoće

Zašto je čistoća bitna u sistemima poluvodičkih fluida

U proizvodnji poluprovodnika, kontaminacija može uticati na prinos pločice, stabilnost procesa i održavanje opreme.

Cijev može dovesti do kontaminacije kroz:

Čestice

Preostali materijali za obradu

Extractables

Loše kontrolisane sirovine

Neadekvatno čišćenje

Nepravilno rukovanje

Kontaminirana ambalaža

Ovo čini odabir materijala i proizvodno okruženje blisko povezanim.

WITFLON-ova web stranica identificira proizvodnju čistih soba kao dio svojih proizvodnih mogućnosti i navodi poluvodičke primjene za cijevi od fluoropolimera. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

Za nabavku cijevi visoke čistoće, kupac bi trebao tražiti više od naziva materijala.

Korisna specifikacija može uključivati:

Kvalitet smole

Materijal cijevi

ID / OD

Debljina zida

Stanje površine

Zahtjev za čišćenje

Zahtjev za čestice

Zahtjev za pakovanje

Sljedivost

Obavezni certifikati

Tečnost za nanošenje

4. Odabir PTFE / PFA / FEP

PTFE, PFA i FEP su svi fluoropolimeri, ali ih ne treba tretirati kao zamjenjive materijale.

WITFLON-ov portfelj proizvoda uključuje PTFE, FEP i PFA cijevi, omogućavajući kupcima da odaberu materijal prema zahtjevima primjene. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

PTFE

PTFE je jak izbor kada je prioritet:

Široka hemijska otpornost

Otpornost na visoke temperature

Nisko trenje

Električna izolacija

Općenito rukovanje korozivnim tekućinama

WITFLON-ove specifikacije PTFE cijevi pokrivaju primjene koje uključuju rastvarače, kiseline, baze i korozivne plinove. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

PFA

PFA postaje atraktivan kada primjena poluvodiča stavlja veći naglasak na:

Hemijski transfer visoke čistoće

Hemijska otpornost

Transparentnost

Vidljivost procesa i fluida

Kontinuirane primjene cijevi od fluoropolimera

Za dostavu hemikalija visoke čistoće, PFA se često razmatra kada sistem zahteva kombinaciju hemijske otpornosti i čiste, procesno orijentisane strukture cevi.

FEP

FEP nudi:

Hemijska otpornost

Transparentnost

Fleksibilnost

Električna izolacija

Dobra temperaturna otpornost

WITFLON-ove FEP informacije o proizvodu navode primjene za prijenos kemikalija i industrijske tekućine i daju objavljeni temperaturni raspon od približno -196 stepeni do 260 stepeni za specifikaciju FEP cijevi. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

Praktični odabir materijala

Konačni materijal treba odabrati u odnosu na stvarne hemijske i procesne uslove, a ne samo na osnovu ovog opšteg poređenja.

5. Specifikacije cijevi

RFQ za poluvodičke cijevi trebao bi biti detaljniji od standardne narudžbe industrijskih cijevi.

Dimenzionalne specifikacije

Navedite:

ID

OD

Debljina zida

Dužina

Tolerancija

Koncentričnost

Za kapilarne i mikrofluidne aplikacije, tolerancija ID može postati kritični parametar kontrole protoka.

WITFLON-ov asortiman kapilarnih cijevi od PTFE uključuje proizvode malog prečnika kao što je 1 mm ID × 2 mm OD, sa dostupnim prilagođenim dužinama kalema. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

Pritisak

Navedite:

Radni pritisak

Maksimalni pritisak

Pritisak pucanja ako je potrebno

Temperatura pri radnom pritisku

Performanse pritiska u velikoj meri zavise od spoljašnjeg dela, debljine zida, temperature i konstrukcije cevi.

Površina

Za primjene poluvodiča, utvrdite da li je zahtjev:

Glatki otvor

Površina sa niskim sadržajem čestica

Površina visoke čistoće

Specijalno čišćenje

Specijalno pakovanje

Dužina

Ovisno o instalaciji, kupac može zahtijevati:

Ravne dužine rezanja

Kontinuirani namotaji

Spools

Prilagođene dužine rezanja

WITFLON navodi prilagođene dužine za svoje proizvode od PTFE cijevi. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

6. Kontrola kontaminacije

Sprečavanje da cijev postane dio problema kontaminacije

Hemijski otporna cijev nije automatski cijev visoke čistoće.

Za poluprovodničke sisteme, kontrola kontaminacije treba da obuhvati kompletan lanac:

Sirovina
↓
Ekstruzija
↓
Inspekcija
↓
Čišćenje / rukovanje
↓
Pakovanje
↓
Isporuka

Potencijalni izvori kontaminacije uključuju:

Sirovina

Neispravna ili nekonzistentna smola može uticati na svojstva proizvoda.

Proizvodnja

Stanje opreme, okolina i rukovanje operatera mogu dovesti do pojave stranih čestica.

Rezanje

Neodgovarajuća konzerva za rezanje proizvodnih objekata i 2.000 m² čistog prostora. Kompanija takođe navodi više čestica ostavljanja ili grubih ivica.

Rukovanje

Cijevi se mogu kontaminirati nakon proizvodnje ako su izložene nekontroliranom okruženju.

Pakovanje

Čak i čista tuba može biti ugrožena neodgovarajućim materijalom za pakovanje ili lošim rukovanjem.

Zbog toga cijev visoke čistoće treba kupiti kao kontrolirani proizvod, a ne samo kao cijev od polimera otpornog na kemikalije.

7. Proizvodno okruženje

WITFLON izvještava o 10,000+ m² proizvodnih objekata i 2.000 m² čistog prostora. Kompanija također navodi više od 45 proizvodnih linija za ekstruziju i namjensku opremu za testiranje. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

Za poluvodičke cijevi, proizvodno okruženje treba uzeti u obzir zajedno sa specifikacijom proizvoda.

Važni faktori uključuju:

Čisto proizvodno područje

Skladištenje materijala

Čistoća opreme

Kontrolisano rukovanje

Inspekcija u procesu

Inspekcija gotovog proizvoda

Okruženje pakovanja

Identifikacija serije

U istoriji kompanije WITFLON bilježi se da je osnovao radionicu bez prašine 2021. godine kada je proširio fokus na medicinske PTFE cijevi. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

Za kupce poluvodiča, dobavljač bi trebao jasno navesti koji proizvodi cijevi se proizvode u kontroliranim okruženjima, umjesto da postavljaju tvrdnje o čistoj prostoriji za svaki proizvod.

8. Inspekcija kvaliteta

Poluvodičkim cijevima je potrebna kontrola dimenzija, kao i kontrola materijala i površine.

Inspekcija ulaznog materijala

provjerite:

Identifikacija smole

Kvalitet materijala

Dobavljač

Broj serije

Materijalna dokumentacija

Dimenzionalna inspekcija

provjerite:

ID

OD

Debljina zida

Dužina

Koncentričnost

Inspekcija površine

Potražite:

Ogrebotine

Strana materija

Bubbles

Pukotine

Površinske nepravilnosti

Testiranje performansi

Ovisno o aplikaciji:

Ispitivanje pritiska

Ispitivanje temperature

Ispitivanje hemijske kompatibilnosti

Električna ispitivanja

Dimenzijska stabilnost

Ispitivanje curenja

WITFLON navodi da ima naprednu opremu za testiranje i više od 45 proizvodnih linija za ekstruziju. Njegove informacije o proizvodu također identifikuju kontrole kvaliteta u pogledu dimenzija i materijala u cijelom asortimanu cijevi. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

9. Prijave

Chemical Delivery

PTFE, PFA i FEP cijevi se mogu koristiti za transport agresivnih procesnih hemikalija od sistema za snabdevanje hemikalijama do opreme za obradu poluprovodnika.

Tipična razmatranja:

Hemijska kompatibilnost + čistoća + pritisak + temperatura

Wet Process

Mokre klupe koriste hemijska rješenja za obradu vafla, čišćenje i površinsku obradu.

Zahtjevi za cijevi mogu uključivati:

Hemijska otpornost

Niska kontaminacija

Kontrolisane dimenzije

Čisto rukovanje

Pouzdane veze

UPW - Ultračista voda

UPW sistemi zahtijevaju cijevi koje ne ugrožavaju čistoću vode.

Tipične brige uključuju:

Generisanje čestica

Extractables

Stanje površine

Čista proizvodnja

Pakovanje

Dugoročna hemijska stabilnost

Materijal cijevi treba odabrati na osnovu kompletne specifikacije UPW sistema.

Specialty Gas

Fluoropolimerne cijevi se također mogu koristiti u poluvodičkoj opremi koja se odnosi na plin.

Dizajn treba uzeti u obzir:

Kompatibilnost s plinom

Prožimanje

Pritisak

Temperatura

Sistem povezivanja

Curenje

Za specijalne gasove, odabir materijala treba da se vrši u skladu sa specifičnim gasom i uslovima rada, a ne uz pretpostavku da svi fluoropolimeri imaju identičan učinak.

Etching

Sistemi za nagrizanje izlažu komponente za rukovanje tečnostima agresivnim hemikalijama.

Cijevi moraju održavati:

Hemijska stabilnost

Dimenzionalni integritet

Stanje površine

Pouzdanost veze

Široka hemijska otpornost PTFE čini ga materijalom kandidatom za ove sisteme. WITFLON posebno opisuje PTFE kao pogodan za prijenos korozivne tekućine. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

Čišćenje

Čišćenje vafla može uključivati ​​kombinacije:

Voda

Kiseline

Alkalije

Rastvarači

Oksidirajuća sredstva

Cijev treba odabrati prema stvarnoj hemiji čišćenja, temperaturi i pritisku.

Photoresist

Rukovanje fotorezistom je osjetljivije od običnog prijenosa kemikalija jer kontaminacija može direktno utjecati na performanse procesa.

Odabir cijevi stoga treba uzeti u obzir:

Hemijska kompatibilnost

Čistoća

Extractables

Stanje površine

Postupak čišćenja

Pakovanje

Za ove primjene, kupac bi trebao dostaviti hemiju fotorezista i uslove procesa proizvođaču cijevi.

10. Odabir poluprovodničkih cijevi prema primjeni

Ova tabela je zamišljena kao polazna tačka za ispitivanje materijala, a ne zamena za ispitivanje hemijske kompatibilnosti.

11. Zašto WITFLON za poluprovodničke cijevi?

Za kupca poluvodiča, korisni kriteriji dobavljača nisu ograničeni na cijenu i nominalnu veličinu cijevi.

Fluoropolymer Expertise

Kompanija navodi da ima 15+ godina iskustva sa PTFE, FEP i PFA cijevima i proizvodima od fluoropolimera. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

Proizvodni kapacitet

Kompanija saopštava:

45+ proizvodne linije za ekstruziju

10,000+ m² proizvodnih objekata

2.000 m² čistih soba

Napredna oprema za testiranje

(Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

Prilagodba

WITFLON podržava OEM proizvodnju i za male serije i za proizvodnju većih količina i navodi da se cijevi mogu proizvoditi prema uzorcima ili tehničkim crtežima. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

Višestruki fluoropolimeri

Umjesto da ograničava kupce na PTFE, asortiman proizvoda WITFLON-a pokriva:

PTFE + PFA + FEP

Ovo omogućava odabir materijala prema stvarnom poluvodičkom procesu. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)

12. RFQ za poluvodičke cijevi

RFQ za poluvodičke cijevi trebao bi pružiti dovoljno informacija o procesu za proizvođača da procijeni i materijal i geometriju.

Informacije o proizvodu

PTFE cijev

PFA cijev

FEP cijev

Kapilarna cijev

Custom tubing

Dimenzije

ID

OD

Debljina zida

Dužina

Tolerancija

Koncentričnost

Informacije o procesu

Hemijski

Hemijska koncentracija

Temperatura

Pritisak

Brzina protoka

Vrijeme izloženosti

Kontinuirana / povremena upotreba

Zahtjevi za čistoću

Zahtev visoke čistoće

Zahtjev za čestice

Zahtjev za čišćenje

Zahtjev za pakovanje

Zahtjev sljedivosti

Aplikacija

Hemijska isporuka

Mokri proces

UPW

Etching

Čišćenje

Photoresist

Specijalni gas

Material Preference

PTFE

PFA

FEP

Bez preferencija - dobavljač za preporučiti

Protok za odabir poluprovodničkih PTFE cijevi

Za WITFLON, tehnički koristan proces odabira poluvodičkih cijevi može se predstaviti kao:

Semiconductor Process
↓
Identifikacija hemikalija/gasa
↓
Temperatura + Pritisak
↓
Zahtjev za čistoću
↓
PTFE / PFA / FEP izbor
↓
ID / OD / debljina zida
↓
Zahtjevi za površinu i čistoću
↓
Proizvodno okruženje
↓
Inspekcija dimenzija i performansi
↓
Čisto pakovanje
↓
Isporuka

Ova struktura je posebno korisna za inženjere i timove za nabavku jer počinje od zahtjeva procesa, umjesto da prisiljava kupca da odabere cijev prije nego što shvati materijal.

RFQ: Recite WITFLON-u šta cijev mora podnijeti

Za proizvodnju poluprovodnika, najkorisnija prva poruka nije jednostavno:

"Molim vas, navedite PTFE cijevi."

Umjesto toga, obezbijedite:

Fluid / Hemikalija + Koncentracija + Temperatura + Pritisak + ID + OD + Debljina stijenke + Dužina + Zahtjev za čistoću + Primjena

WITFLON tada može procijeniti da li je PTFE, PFA ili FEP bolji početni materijal i utvrditi da li je standardni proizvod ili prilagođeno ekstrudiranje odgovarajući. Njegova trenutna web stranica posebno navodi poluvodičke aplikacije za cijevi od fluoropolimera i identificira PTFE, FEP i PFA među mogućnostima svojih proizvoda. (Hubei Zetai New Material Co., Ltd.)